学会発表(国際)
発表者名 | Akitsu Shigetou, Ajayan Mano, Jun Mizuno, and Tadatomo Suga |
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論文表題 | UV/Vapor-Assisted Hybrid Bonding Technology as a Tool for Future Nanopackaging |
学会等名 | IEEE NANO |
発行年月日 | 年月日 |
発表場所 | International Convention Centre (ICC), Birmingham |