学会発表（国際）
| 発表者名 | Akitsu Shigetou, Tadatomo Suga |
|---|---|
| 論文表題 | Vapor-assisted hybrid bonding of inorganic/organic substrates for 3D hetero-integration |
| 学会等名 | 3rd IEEE International Workshop on LTB-3D |
| 発行年月日 | 年月日 |
| 発表場所 | The Univ. of Tokyo |
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